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新開發電子槍 G-12400

特點:

  • 電子束入射垂直性的提高(溶化痕跡的改善)
  • X/Y軸±20mm的電子束掃描
  • 由於反射電子束入射到基板的減少使膜損壞的程度降低
  • 由於使用電磁線圈可改變加速電壓
  • 抑制礙子/ 陽極板的壽命提高
  • 可和以前的G-12100型交換

 

 

特徵

  • 可於PLASMATECH製造的各種電子槍頭進行組合
  • 可供選擇1組電子槍電源或2組電子槍電源
  • 在對輸出高壓的安全方面,具有2重安全結構
  • 裝載使異常放電的影響減少到最小限度的裝置
  • 具有多種功能可供選擇
  1. 顯示器直觀的數碼顯示
  2. 具有變換加速電壓的功能鍍膜時可變換加速電壓,具有3種加速電壓的設定和每種加速電壓有2組打點的設定
  3. 多種掃描功能提高環狀形試料等的打點均勻性可設計12種類的三角波形和螺旋波形可改變電子束掃描頻率

技術指標:

項目 內容
最大輸出功率 D-10A和D-10B :10kW
D-06A和D-06B :6kW
加速電壓 D-10A和D-10B :-4kV~ -10kV
D-06A和D-06B :-4kV~ -6kV
裝載電子槍 單槍:D-10A和D-06A
雙槍:D-10B和D-06B
外部控制信號 約35個
外形尺寸 電源:W563xH1232xD803(mm)
顯示器:W480xH99xD150(mm)
(顯示器為選擇品)
重量 D-10A和D-10B :約290kg
D-06A和D-06B :約260kg

電子槍

特徵

  1. 電子槍產生的電子束經270度偏向發射到蒸發物的表面,由電磁線圈組合成的掃描裝置進行蒸發掃描。
  2. 電子槍本體構造堅固,容易保養。
  3. 採用電子槍本體與坩鍋部分離技術,可依據用途自行組合。