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LP-BSPD

立式雙門蒸濺鍍兩用真空蒸著機

特色:

1.左右爐可個別蒸著
2.蒸著製程有4組可供選擇
3.適用RF或濺鍍靶材
4.迴轉機構採用公自轉方式,針對有曲度產品的蒸著,可達到
   極佳的均勻性效果。

用途:

1.手機機殼/ 按鍵/ PDA
2.其他資訊產品外殼/ 汽車後視鏡
3.裝飾性產品之金屬化及NCVM蒸著

系統/機種

LP- 1200 BPSD

LP- 1500 BPSD

LP- 1600 BPSD

腔體尺寸

直徑

1,200 mm

1,500 mm

1,600 mm

高度

1,300 mm

1,500 mm

1,600 mm

可蒸鍍尺寸

-

∮135x1,050mm x18

∮135x1,250mmx24

∮135x1,350mmx26

到達真空度

-

10-6  Torr

排氣速度

-

從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘  (在空爐時)

視窗

-

1組

鎢絲數

-

18~22個

20~24個

20~26個

迴轉幫浦

公升/每分鐘

6000

10,000

15,000

加強幫浦

M3/  每小時

1,500

3,000 M3/  每小時

5,000

擴散幫浦

公升/ 每秒

45,000

45,000

45,000 *2

維持幫浦

建議配備

300~600公升/每分鐘

膜厚計

石英式

膜厚計

單片式感測頭/ 六片式感測頭

真空計

-

Pirani + Cold  Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)

控制箱

-

1組

濺鍍靶材

-

2~4個

濺鍍源

-

RF或DC

操作方式

-

自動,手動

冷卻水流量

公升/每分鐘

80

100

120

蒸著電源

-

30KW

35KW

50KW

高真空閥

-

24英吋

36英吋

36英吋

粗抽閥

-

6英吋

6英吋

8英吋

預抽閥

-

6英吋

洩氣閥

-

2英吋

維持閥

-

1英吋

真空計

-

Pirani + Cold  Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)

冷卻水塔

-

15RT (水壓:  4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2)

冷卻水溫度

-

建議 入水18℃,出水25℃,標準溫度20±1℃

超低溫冷凍機

-

超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配

空壓機

-

3HP (空壓:  6~ 8 Kg/ cm2

所需電力

-

75KW

85KW

95KW

環境需求

-

十萬級無塵室; Epoxy平面地板;  空調; 溫度25±3℃;  濕度50±10%