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小型實驗用真空蒸著機

特色:

  1. 配備有觸控螢幕,操作螢幕採圖形化設計,簡明易操作。
  2. 提供多組蒸鍍參數,蒸鍍時客戶可依不同產品製程分別設定。
  3. 提供手動/自動轉速及蒸鍍電壓控制,方便製程的控制。
  4. 可選配石英膜厚控制器,進行精確膜厚監控。

產業:

  1. 3C產品製造業
  2. 汽車燈具製造業
  3. 化妝品包裝製造業
  4. 油漆產業開發

用途:

手機殼、汽車燈罩、化粧品容器、香水瓶、電子電器零配件、鏡子、各式聖誕飾品…等產品之金屬化蒸著。 

系統/機種

LP-500 BS

LP-700 BS

LP-800 BS

腔體直徑

500 mm

700 mm

800 mm

腔體高度

500 ~ 700 mm

800 ~ 900 mm

800 ~ 1000 mm

視窗

1組

迴轉幫浦

600公升/  每分鐘

1500公升/  每分鐘

3000公升/  每分鐘

加強幫浦

-

300 M3/ 每小時

600 M3/ 每小時

擴散幫浦

10英吋

18英吋

22英吋

高真空閥

10英吋

16~18英吋

16~22英吋

粗抽閥

1英吋

2英吋

3英吋

預抽閥

1英吋

2英吋

3英吋

洩氣閥

1英吋

1英吋

1英吋

到達真空度

10-6  Torr (10-4Pa)

排氣速度

從一大氣壓到 3x10-4 Torr(4X10-2Pa)  10分鐘之內 (空爐時)

操作方式

自動/手動

蒸著電源

6~10 KW

真空計

冷陰極真空計(1ATM ~ 10-7 Torr / 1ATM ~ 10-5Pa )

控制箱

1組

冷卻系統

 水壓: 4Kg/ cm2; 壓差:2Kg/ cm2

冷卻水流量

20 公升/  每分鐘

50公升/  每分鐘

80公升/  每分鐘

冷卻水溫度

入水18℃,出水25℃,標準溫度20℃

空壓機

1HP~3HP (空壓:  5 ~ 8 Kg/ cm2)

所需電力

20KW

25KW

30KW

備註:

  1. 高真空幫浦除標準配備擴散幫浦外,尚可依客戶需求選擇搭配Cryo Pump 或 Turbo Pump…等。
  2. 其他選配件: 膜厚計、電子槍、冷凍機…等。

專用真空蒸著機

特色:

  1. 特殊機構設計,以10.1'為例產能為傳統光學機3.5~4倍。
  2. 搭配RF電漿處理裝置,改善基板與薄膜的結合性。
  3. 結合蒸鍍及濺鍍設計,耐摩擦特性改善。
  4. 特殊調節閥設計,提升良品率。
  5. 雙門設計可個別蒸鍍,減少產品裝填時間。

用途:

新一代的BSPD系統,實現全自動化控制及模組化設計,結合光學與電子產業的設計理念,使工藝穩定性更上一層樓,此裝置適用於AF特性成膜,廣泛用於智慧型手機、電子書、平板電腦產業。

真空室 1500 x 1800
迴轉機構 公自翻動式
蒸發源 蒸鍍+濺鍍(中頻電源)
基材表面處理 RF裝置
基材加熱裝置
到達壓力 10-7 Torr
設備空間 L7000 x W7000 x H3700 mm
所需電力 3, 220/380V, 60/50Hz, 90Kw
所需水流量 120 L/min
所需空壓 6~8kg/cm2
總重 8000kg

臥式真空蒸著機

特色:

  1. 容量較立式真空蒸著機大。
  2. 搭配電漿聚合表面處理模組,不但環保、低汙染,
  3. 還能滿足產品阻水、阻氣或疏水的特性要求,更加提高產品的附加價值。

用途:

  1. 各種款式的五彩飾品、手機外殼、化妝品容器、香水瓶、鏡子...等。

系統/機種

LP-1100 HS

LP-1300 HS

腔體直徑

1,100 mm

1,300 mm

腔體長度

1,100 mm

1,500 mm

可蒸鍍尺寸

∮220x1,000mmx 6

∮250x1,400mmx 8

視窗

1組

鎢舟數

4個

5個

迴轉幫浦

6,000公升/  每分鐘

6,000~10,000公升/  每分鐘

加強幫浦

1,500 M3/  每小時

2500 M3/  每小時

擴散幫浦

20,000公升/  每秒

45,000公升/  每秒

高真空閥

24英吋

36英吋

粗抽閥

6英吋

預抽閥

6英吋

洩氣閥

2英吋

到達真空度

10-6  Torr

排氣速度

從1個大氣壓到 2x10-4 Torr 約5分鐘  (空爐時)

操作方式

自動,手動

蒸著電源

10KW

30KW

真空計

Pirani + Cold  Cathode (1ATM ~ 10-6 Torr)

控制箱

1組

冷卻系統

水壓: 4Kg/  cm2,壓差:2Kg/ cm2

冷卻水溫度

建議 入水18℃,出水25℃,標準溫度20±1℃

超低溫冷凍機

超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配

空壓機

3HP (空壓:  6 ~ 8 Kg/ cm2)

所需電力

40KW

50KW

 

立式雙門蒸濺鍍兩用真空蒸著機

特色:

1.左右爐可個別蒸著
2.蒸著製程有4組可供選擇
3.適用RF或濺鍍靶材
4.迴轉機構採用公自轉方式,針對有曲度產品的蒸著,可達到
   極佳的均勻性效果。

用途:

1.手機機殼/ 按鍵/ PDA
2.其他資訊產品外殼/ 汽車後視鏡
3.裝飾性產品之金屬化及NCVM蒸著

系統/機種

LP- 1200 BPSD

LP- 1500 BPSD

LP- 1600 BPSD

腔體尺寸

直徑

1,200 mm

1,500 mm

1,600 mm

高度

1,300 mm

1,500 mm

1,600 mm

可蒸鍍尺寸

-

∮135x1,050mm x18

∮135x1,250mmx24

∮135x1,350mmx26

到達真空度

-

10-6  Torr

排氣速度

-

從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘  (在空爐時)

視窗

-

1組

鎢絲數

-

18~22個

20~24個

20~26個

迴轉幫浦

公升/每分鐘

6000

10,000

15,000

加強幫浦

M3/  每小時

1,500

3,000 M3/  每小時

5,000

擴散幫浦

公升/ 每秒

45,000

45,000

45,000 *2

維持幫浦

建議配備

300~600公升/每分鐘

膜厚計

石英式

膜厚計

單片式感測頭/ 六片式感測頭

真空計

-

Pirani + Cold  Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)

控制箱

-

1組

濺鍍靶材

-

2~4個

濺鍍源

-

RF或DC

操作方式

-

自動,手動

冷卻水流量

公升/每分鐘

80

100

120

蒸著電源

-

30KW

35KW

50KW

高真空閥

-

24英吋

36英吋

36英吋

粗抽閥

-

6英吋

6英吋

8英吋

預抽閥

-

6英吋

洩氣閥

-

2英吋

維持閥

-

1英吋

真空計

-

Pirani + Cold  Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)

冷卻水塔

-

15RT (水壓:  4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2)

冷卻水溫度

-

建議 入水18℃,出水25℃,標準溫度20±1℃

超低溫冷凍機

-

超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配

空壓機

-

3HP (空壓:  6~ 8 Kg/ cm2

所需電力

-

75KW

85KW

95KW

環境需求

-

十萬級無塵室; Epoxy平面地板;  空調; 溫度25±3℃;  濕度50±10%

 

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