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核心技術

壹-操作系統:

  • 系統操作採用觸控螢幕操作,圖形化介面簡明易懂,提供中/英文兩種選擇。
  • 完整的系統保護措施,當水、電、氣..等有異常時會有警告畫面及聲音,提醒操作人員即時進行故障排除,以減少公司損失,增進生產績效。
  • 真空計讀值顯示於人機畫面,可依操作習慣選擇壓力單位(Torr,Pa,mBar) 。
  • 坩堝定位系統可自動正/逆轉控制,減少操作者添加藥材及制程中坩堝切換之等待時間。
  • 電子槍掃瞄/真空計校正/各設定點/烘烤模式/洩氣方式..等,多元化參數設定且採用密碼保護,避免不當的修改影響制程品質。
  • 完整的故障履歷,便於故障發生時,能迅速掌握原因與即時排除。
  • 完善的維護保養記錄,讓操作者能隨時掌握元件的使用時間與上次維護日期,以利於維護安排,達到最高的使用效能。

貳-監控系統簡介:

  • Windows 作業系統,繁體中文操作介面易讀易懂 。
  • 單一執行檔,含檔案資料建立、分析、監控、量測、提高操作之方便性 。
  • 資料輸入有防呆與指示功能,提高資料正確性 。
  • 具有已 TFCalc 分析軟體相同檔案格式,方便資料建立,亦可直接將 TFCalc 設計之膜厚轉換至製程檔。
  • 較彈性之硬體設定,方便除錯,硬體設定互換或關閉 。
  • 多視窗顯示功能,可獨立放大、縮小或關閉 。
  • 具有溢鍍量扣減分析功能 。
  • 分析後,監控波長選擇更具方便性 。
  • 可紀錄及鍍後顯示每一鍍膜層資料,包括廣波域光譜、監控波長光譜變化、物理膜厚、蒸著速率、通氧流量、真空度變化、離子源相關變化量(Vd, Id…) ,方便檢知,利於問題的判斷與解決。
  • 監控過程更具彈性隨時可中斷、暫停、省略或放棄 。
  • 掃瞄式融藥功能 。
  • 監控中,參數變更即時生效,方便製程調整 。
  • 線上量測功能,可依狀況變換量測基準,進行量測 。
  • 自動補層功能,大大提高膜層中斷補救之成功率 。
  • 穩定的蒸著速率調整及石英壽命檢測、自動振盪片切換,可提高製 程的良品率 。
  • 新增一些狀態檢測,如有不對,立即關閉遮板,停止電子鎗作動及發出警報,可大大降低不良率的發生 。

光學監控畫面

 

石英監控畫面

 

時間監控畫面